晶圓片脫氧高溫烘箱10pa真空氮?dú)饪鞠?/h1>

晶圓片快速脫氧高溫烘箱10pa真空高溫氮?dú)饪鞠溆喼?/span>

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1. 迅速脫氧：該箱內(nèi)膽采用不銹鋼制造，箱壁接縫全部采用氬弧焊焊接，密封性能，能快速脫氧；
2. 高效率：穩(wěn)定和快速的升溫性能，有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量和效率；
3. 保溫節(jié)能：箱體與工作室之間填充高密度纖維棉作保溫材料，有效保濕節(jié)能；
4. 密封性好：箱門與工作室外框設(shè)有耐高溫?zé)o塵密封條和壓緊裝置，有效地保證了箱體的密封性能；
5. 置物架：工作室內(nèi)設(shè)計(jì)可抽取的載物網(wǎng)板；
6. 美觀簡潔：設(shè)備外形美觀，操作簡便，控溫靈敏準(zhǔn)確；

主要技術(shù)參數(shù)：

1：電源：AC380V 3φ 50HZ 18KW

2：工作尺寸：W560×D640×H600

   外形尺寸：W910×D990×H1865

3：溫度范圍：RT+10℃～450℃

4：升溫速率：2 ℃/minute～4 ℃/minute

5：降溫速率：2 ℃/minute～4 ℃/minute(400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔)

6：外壁材料： 冷扎碳鋼板，經(jīng)防銹處理后靜電噴塑，耐劃傷;   

7：內(nèi)膽材料： 5mm厚，SUS304不銹鋼，不銹鋼內(nèi)外表面拋光; 

8：保溫材料：厚度150毫米硅酸保溫棉，保溫性能良好;

9：門:真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護(hù).(高溫狀態(tài)下使用,為耗品,建議2-3個(gè)月更換一次)

10：真空泵: LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購真空泵,或者制定真空泵型號);

11：真空度: ≤10 pa；

12：加熱元件：四面輻射加熱;  

13：電器系統(tǒng)：系統(tǒng)采用PLC控制,加熱啟停、冷卻啟停、真空泵啟停、充氮?dú)鈫⑼＃?nbsp;  

14：溫控輸出：SSR輸出，歐姆龍繼電器，固態(tài)繼電器

15：安全保護(hù)：加熱電流過流、系統(tǒng)短路保護(hù)、電壓過壓保護(hù)、真空泵過負(fù)載、缺相保護(hù)、電爐超溫報(bào)警等功能。

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