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晶圓片脫氧高溫烘箱10pa真空氮氣烤箱

晶圓片脫氧高溫烘箱10pa真空氮氣烤箱
產品型號: VOD-210
生產地址: 上海
廠商性質: 生產廠家
發(fā)布時間: 2024-09-26

產品概述

品牌其他品牌應用領域醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產業(yè),石油,電子

晶圓片快速脫氧高溫烘箱10pa真空高溫氮氣烤箱訂制

產品特點:

  1. 迅速脫氧:該箱內膽采用不銹鋼制造,箱壁接縫全部采用氬弧焊焊接,密封性能,能快速脫氧;
  2. 高效率:穩(wěn)定和快速的升溫性能,有助于提高產品質量和效率;
  3. 保溫節(jié)能:箱體與工作室之間填充高密度纖維棉作保溫材料,有效保濕節(jié)能;
  4. 密封性好:箱門與工作室外框設有耐高溫無塵密封條和壓緊裝置,有效地保證了箱體的密封性能;
  5. 置物架:工作室內設計可抽取的載物網(wǎng)板;
  6. 美觀簡潔:設備外形美觀,操作簡便,控溫靈敏準確;

主要技術參數(shù):

1電源:AC380V 3φ 50HZ 18KW

2工作尺寸:W560×D640×H600

   外形尺寸:W910×D990×H1865

3溫度范圍:RT+10℃~450

4升溫速率:2 ℃/minute~4 ℃/minute

5降溫速率:2 ℃/minute~4 ℃/minute(400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔)

6外壁材料: 冷扎碳鋼板,經防銹處理后靜電噴塑,耐劃傷;   

7內膽材料: 5mm厚,SUS304不銹鋼,不銹鋼內外表面拋光; 

8保溫材料:厚度150毫米硅酸保溫棉,保溫性能良好;

9門:真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護.(高溫狀態(tài)下使用,為耗品,建議2-3個月更換一次)

10真空泵: LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購真空泵,或者制定真空泵型號);

11真空度: ≤10 pa;

12加熱元件:四面輻射加熱;  

13電器系統(tǒng):系統(tǒng)采用PLC控制,加熱啟停、冷卻啟停、真空泵啟停、充氮氣啟停;   

14溫控輸出:SSR輸出,歐姆龍繼電器,固態(tài)繼電器

15安全保護:加熱電流過流、系統(tǒng)短路保護、電壓過壓保護、真空泵過負載、缺相保護、電爐超溫報警等功能。

晶圓片快速脫氧高溫烘箱10pa真空高溫氮氣烤箱訂制

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